【出願番号】特願2020-67235(P2020-67235)
【発明の名称】気体成分検出装置
【出願人】ピコデバイス、村田製作所
【課題】ガスクロマトグラフィによる気体の成分検出において、高い検出感度を実現しながら、検出時間を短くする。
【解決手段】気体成分検出装置10は、第1流路21、および、カラム30を備える。カラム30は、被検出気体が混合されたキャリアガスの搬送方向において、センサ42よりも上流側に配置される。第1流路21は、カラム30とセンサ42との間に接続される。カラム30は、複数の個別流路31-34を備える。カラム30の全体の流路断面積は、第1流路21の流路断面積S21よりも大きい。これにより、第1流路21におけるキャリアガスの流速を所定速度に維持しながら、カラム30におけるキャリアガスの流速を遅くする。