【出願番号】特願2020-67235(P2020-67235)
【発明の名称】気体成分検出装置
【出願人】ピコデバイス、村田製作所
【課題】ガスクロマトグラフィによる気体の成分検出において、高い検出感度を実現しながら、検出時間を短くする。
【解決手段】気体成分検出装置１０は、第１流路２１、および、カラム３０を備える。カラム３０は、被検出気体が混合されたキャリアガスの搬送方向において、センサ４２よりも上流側に配置される。第１流路２１は、カラム３０とセンサ４２との間に接続される。カラム３０は、複数の個別流路３１－３４を備える。カラム３０の全体の流路断面積は、第１流路２１の流路断面積Ｓ２１よりも大きい。これにより、第１流路２１におけるキャリアガスの流速を所定速度に維持しながら、カラム３０におけるキャリアガスの流速を遅くする。